一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置

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专利名称 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 申请号 CN201611143636.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106597520A 公开(授权)日 2017.04.26 申请(专利权)人 中国科学院电工研究所 发明(设计)人 章程;侯兴民;邵涛;邱锦涛 主分类号 G01T1/36(2006.01)I IPC主分类号 G01T1/36(2006.01)I 专利有效期 一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 至一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明涉及一种纳秒脉冲放电下三通道逃逸电子能谱测量装置,包括:纳秒脉冲电源、放电腔、逃逸电子束流收集器和示波器,且依次连接。其中,所述逃逸电子束流收集器包括三个或多个相同的同轴收集器,每个同轴收集器分别设有信号输出端,并分别通过同轴电缆连接所述示波器,纳秒脉冲电源的输出端经分压器后也与示波器相连。本发明可以对不同区域的放电产生的逃逸电子进行测量,进而分析逃逸电子在空间中的时域分布和能谱分布。该发明可广泛应用于纳秒脉冲放电的理论分析和应用研究。

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