| 专利名称 | 三轴微机械磁场传感器 | 申请号 | CN201611020374.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106556804A | 公开（授权）日 | 2017.04.05 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 熊斌;刘松;徐德辉;梁亨茂 | 主分类号 | G01R33/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R33/02(2006.01)I | 专利有效期 | 三轴微机械磁场传感器 至三轴微机械磁场传感器 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种三轴微机械磁场传感器，包括两个呈正交排列的第一谐振结构组件及第二谐振结构组件。本发明的三轴微机械磁场传感器不需要磁性材料，不存在磁滞和磁饱和现象，制作工艺与标准CMOS工艺兼容，可实现大批量，低成本生产；第一谐振结构及第二谐振结构采用静电驱动，功耗几乎为零，且结构简单，易于实现；静电驱动结构为带有阻尼孔的平板电极或者叉指电极，能够有效的减小空气阻尼，提高大气下工作的灵敏度；基于电磁感应原理，在大范围磁场测量中都具有极佳的线性度；三个谐振结构位于同一平面内，可实现三轴测量之间的绝对正交，有效避免了交叉灵敏度的影响；可同时对恒定或交变磁场的三轴分量进行测量，稳定性和可靠性好。 |
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