| 专利名称 | 一种红外探测器及其制作方法 | 申请号 | CN201610971868.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106517077A | 公开（授权）日 | 2017.03.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 张紫辰;王晓峰;潘岭峰 | 主分类号 | B81B1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I | 专利有效期 | 一种红外探测器及其制作方法 至一种红外探测器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本申请公开了一种红外探测器及其制作方法，其中，所述红外探测器包括：衬底，所述衬底上设置有反射部，所述衬底上悬空设置有微桥，所述衬底与所述微桥围成的空腔形成光学谐振腔；所述微桥具有热敏层，所述热敏层上设置有图形化薄膜；红外光从所述图形化薄膜向所述衬底入射。所述红外探测器能够基于表面等离子体增强吸收原理，并利用周期性的图形化薄膜(如金属薄膜)，可以同时实现针对红外光中波和长波的探测；通过综合热敏层、光学谐振腔以及表面等离子体增强效应的共同作用，提高所述红外探测器同时针对红外光中波和长波的吸收率及器件性能，为用户提供更为全面准确的探测信息。 |
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