一种基于自适应拟合的波前传感器

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专利名称 一种基于自适应拟合的波前传感器 申请号 CN201610874660.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106482838A 公开(授权)日 2017.03.08 申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 饶长辉;马晓燠;饶学军;田雨;鲍华 主分类号 G01J9/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/00(2006.01)I 专利有效期 一种基于自适应拟合的波前传感器 至一种基于自适应拟合的波前传感器 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明提供了一种基于自适应拟合的波前传感器,包括波前传感器、波前拟合器和波前复原器;所述波前传感器,用于接收被测波前,对被测波前进行分割汇聚处理,得到光斑阵列;所述波前拟合器,用于对光斑阵列进行复原处理,得到复原波前,并对复原波前进行空间迭代拟合处理,得到趋于稳定值的复原波前补偿量;所述波前复原器,用于对趋于稳定值后的复原波前补偿量进行复原处理,得到高精度的复原波前,由于上述波前传感器在波前拟合器的作用下循环测量的是补偿拟合后的误差量,而随着循环次数的增加,误差量起伏减小,其测量精度增高,从而实现了对复原波前的高精度测量。

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