| 专利名称 | 光栅划刻机及其工作台的锁紧装置 | 申请号 | CN201610807499.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106468794A | 公开（授权）日 | 2017.03.01 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 于海利;唐玉国;糜小涛;于宏柱;张善文;李晓天;吉日噶兰图;齐向东;巴音贺希格 | 主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/18(2006.01)I | 专利有效期 | 光栅划刻机及其工作台的锁紧装置 至光栅划刻机及其工作台的锁紧装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种光栅刻划机工作台的锁紧装置，用于锁紧配合的下导轨和上导轨，包括支座和电磁铁，其中，电磁铁安装在支座上，并且得电后具有磁性，该电磁铁与上导轨相对的部分和与下导轨相对的部分的磁性相反，以吸合上导轨和下导轨。电磁铁得电后与上导轨相对的部分吸合上导轨，与下导轨相对的部分吸合下导轨，并且电磁铁的这两部分的磁性相反，根据磁铁异性相吸的原理，使上导轨和下导轨稳定的配合在一起。通过增加对上导轨和下导轨的锁紧装置，可防止上导轨在下导轨上的振动，提高了刻划光栅精度和性能。本发明还公开了具有上述光栅刻划机工作台的锁紧装置的光栅刻划机。 |
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