一种环形抛光机

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专利名称 一种环形抛光机 申请号 CN201610856602.6 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106392820A 公开(授权)日 2017.02.15 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 焦翔;朱健强;樊全堂;谭小红 主分类号 B24B13/01(2006.01)I IPC主分类号 B24B13/01(2006.01)I 专利有效期 一种环形抛光机 至一种环形抛光机 法律状态 公开 说明书摘要 一种新型环形抛光机,包括转台、抛光盘、限位滚轮机构和工件环,其中抛光盘的开槽或材料流动性能经过特殊设计,本发明解决了传统环形抛光机必须使用大尺寸校正板的问题,由于省去了校正板,该发明有助于降低抛光盘驱动电机的功率、降低设备成本、改善环形抛光机运转的稳定性、降低抛光盘盘面的温升、提高抛光盘盘面的利用率和抛光效率,并能延长抛光盘的使用寿命。

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