| 专利名称 | 高速激光线扫描的表面缺陷检测装置 | 申请号 | CN201610943020.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106442565A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所;合肥知常光电科技有限公司 | 发明（设计）人 | 邵建达;刘世杰;董敬涛;吴周令;陈坚;周游;王微微 | 主分类号 | G01N21/95(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/95(2006.01)I | 专利有效期 | 高速激光线扫描的表面缺陷检测装置 至高速激光线扫描的表面缺陷检测装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种高速激光线扫描的表面缺陷检测装置，该装置主要包括激光器、激光扩束系统、第一高反镜、起偏器、第二高反镜、波片、第三高反镜、旋转棱镜、行触发探测器、远心场镜、激光聚焦点阵线、被测样品、散射光收集器、线阵散射光探测器和柱面透镜。该装置具有较高的灵敏度和信噪比，解决了大口径、大重量样品的表面缺陷测量需求。 |
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