| 专利名称 | 一种太赫兹近场成像系统及方法 | 申请号 | CN201610859262.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106442394A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 周涛;黎华;曹俊诚 | 主分类号 | G01N21/3586(2014.01)I | IPC主分类号 | G01N21/3586(2014.01)I;G01J3/28(2006.01)I | 专利有效期 | 一种太赫兹近场成像系统及方法 至一种太赫兹近场成像系统及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种太赫兹近场成像系统及方法，所述太赫兹近场成像系统包括太赫兹相干光源模块、外腔光路模块及近场探针模块。本发明采用高功率太赫兹量子级联激光器产生高功率THz辐射，利用探针技术和激光器自混频效应探测目标的近场太赫兹信号，进而实现高分辨率成像功能。由于采用自混频效应代替近场探测器，光路系统简洁紧凑；近场探针反射的近场太赫兹信号与入射信号共光路，精度高且结构简单，显著改善了传统近场成像技术的缺陷，对高精度太赫兹成像技术的发展及应用具有积极的推动作用。 |
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