| 专利名称 | 高精度波长形加速度传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201610513007.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106443065A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 龙亮;钟少龙;郭智慧 | 主分类号 | G01P15/03(2006.01)I | IPC主分类号 | G01P15/03(2006.01)I | 专利有效期 | 高精度波长形加速度传感器及其制备方法 至高精度波长形加速度传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种高精度波长形加速度传感器及其制备方法，包括：1）提供第一半导体基底，在第一半导体基底的表面形成第一凹槽；2）提供第二半导体基底，在第二半导体基底的表面形成闪耀光栅结构；3）将第一半导体基底与第二半导体基底键合以形成键合基底；4）提供第一盖板，将第一盖板与键合基底键合；5）依据第一凹槽及闪耀光栅结构对键合基底进行刻蚀，以形成弹性扭转梁及惯性质量块；6）提供第二盖板，在第二盖板表面形成第二凹槽；7）将第二盖板与步骤5）得到的结构进行键合。本发明将加速度敏感单元与检测单元集成批量化制造，具有体积小、结构简单、成本低、封装简单等特点。 |
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