| 专利名称 | 一种镀膜设备及其镀膜方法 | 申请号 | CN201611089968.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106435532A | 公开（授权）日 | 2017.02.22 | 申请（专利权）人 | 佛山市中国科学院上海硅酸盐研究所陶瓷研发中心 | 发明（设计）人 | 蔡晓峰;席红安 | 主分类号 | C23C18/02(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种镀膜设备及其镀膜方法 至一种镀膜设备及其镀膜方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种镀膜设备，包括加热装置、制备装置、冷却装置、外壳、机架和输送机构；外壳的内部依次设有加热装置、制备装置和冷却装置；机架设置于外壳的底部；输送机构包括第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构，第一输送机构设于加热装置的内部，第二输送机构设于制备装置的内部，第三输送机构设于冷却装置的内部；第一输送机构、第二输送机构和第三输送机构依次相连，同步传动。本发明通过采用精细雾化喷嘴，并且喷嘴可任意分布，解决了现有技术中大面积镀膜不均匀、镀液利用率低等问题，设备整体通过输送机构联动，达到整体生产过程中的一体化，提高了生产效率。 |
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