| 专利名称 | 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机 | 申请号 | CN201610929894.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106338805A | 公开（授权）日 | 2017.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张德福;李显凌;倪明阳;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | G02B7/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B7/00(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I;G03B21/14(2006.01)I | 专利有效期 | 光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机 至光学元件六自由度微位移调节装置、投影物镜和光刻机 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种光学元件六自由度微位移调节装置，包括镜筒，三个调节支链安装于镜筒的上表面，每个调节支链提供两个自由度的位移调节；支撑镜框安装于三个调节支链的上表面，在每个调节支链的驱动下，支撑镜框可在两个自由度产生位移；光学元件固定于支撑镜框内，在三个调节支链的驱动下，实现光学元件的六自由度位移调节，适用于对六个自由度都很敏感的光学元件调节，有效提高了光学元件位移调节精度。 |
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