| 专利名称 | 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法 | 申请号 | CN201510962486.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106338258A | 公开（授权）日 | 2017.01.18 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 于杰;张海涛;马冬梅;金春水 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法 至一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置及方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置，包括第一激光器、激光扩束镜、第一分光棱镜、二分之一波片、第二分光棱镜、四分之一波片、聚焦镜、针孔板、三维调整机构、第二激光器、第二激光功率计、第一激光功率计、成像用后组镜头、CMOS相机以及计算机。本发明还提供一种用于点衍射干涉仪针孔对准的方法，包括快速粗对准和精密对准，粗对准过程直观便捷快速，精密对准过程只需两轮扫描就能实现0.1μm的精密对准，耗时短精度高。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
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