一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法

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专利名称 一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法 申请号 CN201610644976.1 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106323164A 公开(授权)日 2017.01.11 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 何建国;韩炜;麻云凤;余锦;貊泽强;林蔚然;刘昊;陈艳中;李昊;凡炼文 主分类号 G01B11/00(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/00(2006.01)I 专利有效期 一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法 至一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开一种基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,包括搭建第一光学成像系统和第二光学成像系统;开启白光光源,通过匀光板将来自白光光源的光束照射在第一微物上;将第一微物置于第一光学成像系统的焦点处;将第二光学成像系统反向放置在第一光学成像系统后端的位置,使第二微物位于第二光学成像系统焦点位置;将观测设备置于所述第二微物后侧,使第二微物位于所述观测设备的焦点处;微调观测设备的焦距,使第二微物和第一微物缩放后的物像在观测设备上清晰显示,比较第二微物和第一微物的物像的重合精度,得到测量结果。本发明提供的基于平行光比例成像的远距离微物重合度检测方法,解决了微物在大空间内无法测量重合度的问题。

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