| 专利名称 | 一种微孔金属填充结构及填充方法 | 申请号 | CN201510323889.1 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106298639A | 公开（授权）日 | 2017.01.04 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;湖州中微科技有限公司 | 发明（设计）人 | 顾杰斌;刘冰杰;李昕欣 | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/768(2006.01)I | 专利有效期 | 一种微孔金属填充结构及填充方法 至一种微孔金属填充结构及填充方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种微孔金属填充结构及填充方法，所述方法包括：提供一液态金属槽并在其上水平放置由喷嘴片、填充片及盖片叠加而成的三明治结构；其中，喷嘴片下表面紧贴液态金属的上表面，喷嘴片与填充片之间设有第一间隙，填充片与盖片之间设有第二间隙；所述填充片中具有填充微孔，所述喷嘴片中设有与所述填充微孔垂直对应的喷嘴孔结构；通过调整所述三明治结构的内部气压P1及所述液态金属的表面气压P2，实现所述填充微孔的金属填充及切割。本发明填充速度极快，准确度高、切割效果好，并可同时实现不同孔径微孔的填充。本发明不仅可以实现通孔的填充，还可以实现盲孔的填充；同时，填充微孔与待填充的液态金属可以浸润，也可以不浸润。 |
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