原位固-液相界面化学反应的自对准装置

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专利名称 原位固-液相界面化学反应的自对准装置 申请号 CN201510313568.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106290411A 公开(授权)日 2017.01.04 申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 张跃钢;马硕;荣根兰 主分类号 G01N23/04(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/04(2006.01)I 专利有效期 原位固-液相界面化学反应的自对准装置 至原位固-液相界面化学反应的自对准装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种原位固-液相界面化学反应的自对准装置,包括间隔层(300)、第一绝缘膜(510)、第二绝缘膜(520)以及两侧对应密封结合的上芯片(100)和下芯片(200);上芯片(100)具有朝向下芯片(200)凸起的凸台(110),下芯片(200)具有朝向上芯片(100)下凹的凹槽(210);间隔层(300)夹设于凸台(110)表面的第一绝缘膜(510)和凹槽(210)内壁的第二绝缘膜(520)之间。该自对准装置可应用于常规TEM样品台,免除了特制样品杆的需求,大幅降低了测试成本;同时,待测液体量较少,可防止第一绝缘膜(510)和/或第二绝缘膜(520)破裂对其他部件的损坏。

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