| 专利名称 | 一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法 | 申请号 | CN201610765470.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106248688A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 陈鲁;刘虹遥;马砚忠;张朝前;杨乐;路鑫超 | 主分类号 | G01N21/94(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/94(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法 至一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，包括：采集晶圆检测模拟信号，将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区，直至数据达到指定数目；对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明提供的基于FPGA的晶圆检测信号提取方法，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确以及灵敏。 |
1、源头对接，价格透明
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