| 专利名称 | 中心频率可调的基片集成波导滤波器及其制作方法 | 申请号 | CN201610605340.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106252800A | 公开（授权）日 | 2016.12.21 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 苏华伟;张静;李君;靖向萌;曹立强 | 主分类号 | H01P1/207(2006.01)I | IPC主分类号 | H01P1/207(2006.01)I;H01P1/208(2006.01)I;H01P11/00(2006.01)I | 专利有效期 | 中心频率可调的基片集成波导滤波器及其制作方法 至中心频率可调的基片集成波导滤波器及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提出一种中心频率可调的基片集成波导滤波器及其制作方法。本发明根据波导谐振频率的电调节的方法，利用在滤波器谐振腔内加载调谐导电柱，实现对谐振腔的谐振频率的扰动，并通过在顶部金属层上形成由导电膜桥形成的开关对多个调谐导电柱进行选通，从而实现了基片集成波导滤波器中心频率的调节。本发明可以大大的增加了滤波器的应用范围和可校准性。 |
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