| 专利名称 | 一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统 | 申请号 | CN201610765497.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106226324A | 公开（授权）日 | 2016.12.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 | 发明（设计）人 | 陈鲁;马砚忠;刘虹遥;张朝前;杨乐;路鑫超 | 主分类号 | G01N21/94(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/94(2006.01)I | 专利有效期 | 一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统 至一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置及系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于FPGA的晶圆检测信号提取装置，包括：信号采集单元，采集晶圆检测模拟信号，以及将晶圆检测模拟信号转换为数字信号；数据抽取单元，按照时序将数字信号中的数据存入缓冲区；处理单元，取用缓冲区的数据，以及对缓冲区的数据进行时域处理及频域处理；判断单元，查找时域信号及频域信号，将时域信号及频域信号合并判断后上传至上位机。本发明实施例提供的晶圆检测信号提取装置及系统，提高了晶圆检测装置检测的模拟信号的提取效率，对提取的晶圆信号中的数据处理更为稳定、准确。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障