| 专利名称 | 一种样品空间扫描及定位装置 | 申请号 | CN201610532956.5 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106198407A | 公开（授权）日 | 2016.12.07 | 申请（专利权）人 | 中国科学院半导体研究所 | 发明（设计）人 | 窦秀明;丁琨;孙宝权 | 主分类号 | G01N21/25(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/25(2006.01)I;G01N21/64(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 专利有效期 | 一种样品空间扫描及定位装置 至一种样品空间扫描及定位装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种样品空间扫描及定位装置，其包括：底座，第一位移台，可滑动的固接于底座上，能够相对于底座在第一方向上移动；第二位移台，可滑动的固接于所述第一位移台，能够相对于第一位移台在第二方向上移动；第三位移台，可滑动的固接于所述第二位移台，能够相对于第二位移台在第三方向上移动；以及光路系统，用于光谱测量的激发和收集，采用三个位移台的联动设计使样品光谱收集物镜和光路实现同步三维空间移动，使光谱测量更加方便和高效。 |
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