| 专利名称 | 一种热色智能薄膜退火的监控系统和方法 | 申请号 | CN201510136864.0 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106158692A | 公开（授权）日 | 2016.11.23 | 申请（专利权）人 | 中国科学院广州能源研究所 | 发明（设计）人 | 詹勇军;徐刚;肖秀娣;史继富 | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 专利有效期 | 一种热色智能薄膜退火的监控系统和方法 至一种热色智能薄膜退火的监控系统和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种热色智能薄膜退火的监控系统，利用氧化钒热色智能膜退火前后，即退火之前的前躯体膜与彻底完成退火后能够实现相变功能的膜层相比，尤其在近红外以及中红外的透过率具有大幅度的变化特点，以及较为特定的透过率的变化情况进行膜层晶化状态的实时监控。本发明所提供的测试分析系统适用于氧化钒热色智能薄膜沉积在具有一定透光性的基片上，然后采用辐射式加热的快速退火，尤其适用于真空系统中的退火。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障