一种W-B-C硬质涂层及其制备方法和应用

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专利名称 一种W-B-C硬质涂层及其制备方法和应用 申请号 CN201510185874.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106148894A 公开(授权)日 2016.11.23 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 裴志亮;刘艳明;蒋春磊;宫骏;孙超 主分类号 C23C14/06(2006.01)I IPC主分类号 C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I 专利有效期 一种W-B-C硬质涂层及其制备方法和应用 至一种W-B-C硬质涂层及其制备方法和应用 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种W-B-C硬质涂层及其制备方法和应用,属于金属材料表面沉积硬质耐磨涂层技术领域。采用直流磁控溅射的方法,通过调控C2H2分压、沉积温度和衬底偏压,在硬质合金基体上制备了W-B-C硬质耐磨涂层。该结构涂层呈现较高的显微硬度、较低的平均摩擦系数及磨损率。本发明所涉及的这种W-B-C(AlB2型)硬质涂层被成功合成,可显著改善刀具或工件表面的硬度及耐磨性,对于超硬硼化物涂层的理论研究和实际应用具有重要意义。

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