专利名称 | 精密气体控制装置及光学制造系统 | 申请号 | CN201610479001.8 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106123163A | 公开(授权)日 | 2016.11.16 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 崔洋;于淼;彭吉;李佩玥;隋永新;杨怀江 | 主分类号 | F24F3/16(2006.01)I | IPC主分类号 | F24F3/16(2006.01)I;F24F13/30(2006.01)I;F24F13/28(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I | 专利有效期 | 精密气体控制装置及光学制造系统 至精密气体控制装置及光学制造系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种精密气体控制装置及光学制造系统。该精密气体控制装置包括初级过滤器、蒸发器、冷凝器以及混合室,其中:初效过滤器用于将外部环境的空气进行初级过滤,并将经过初级过滤的气体分别输送到蒸发器和冷凝器;蒸发器用于对经过初级过滤得到的气体进行降温,以得到冷气;冷凝器用于对经过初级过滤得到的气体进行加热,以得到热气;混合室用于按照预设的比例混合冷气和热气。通过上述方式,本发明采用冷、热风混合的方式,能够节省外部冷水机,从而达到节能环保的效果。 |
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障