| 专利名称 | 一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法 | 申请号 | CN201610815941.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106119776A | 公开（授权）日 | 2016.11.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 发明（设计）人 | 王德生;胡明;翁立军;孙嘉奕;高晓明;姜栋;伏彦龙;杨军;王琴琴 | 主分类号 | C23C14/06(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C14/06(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I | 专利有效期 | 一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法 至一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种纳米织构化CrN/WS2固体润滑薄膜的制备方法，具体步骤为：1)采用超声清洗法清洗基片；2)用氩离子溅射清洗基片；3)采用中频磁控溅射技术沉积表面具有纳米锥状阵列结构的CrN层；4)通过射频磁控溅射技术沉积WS2润滑薄膜层。本发明所述薄膜结构致密，与基底材料的结合牢固，纳米锥状阵列结构的CrN提供良好的支撑和保存WS2润滑膜的作用，整体薄膜呈现出明显改善的摩擦学性能，具有良好的应用前景。 |
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