| 专利名称 | 一种面形检测装置与检测方法 | 申请号 | CN201610412688.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106052585A | 公开（授权）日 | 2016.10.26 | 申请（专利权）人 | 中国科学院高能物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨福桂;李明;盛伟繁;刘鹏 | 主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/24(2006.01)I | 专利有效期 | 一种面形检测装置与检测方法 至一种面形检测装置与检测方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本申请公开了一种面形检测装置与检测方法，面形检测装置包括激光光源组件、波前编码器、分光器件、透镜、阵列探测器以及控制模块。面形检测方法：将激光光源组件发出的光照射波前编码器，经波前编码器调制的出射光透过分光器件、透镜成像至待测区一表面，该表面反射的光经过透镜、分光器件进入阵列探测器；控制模块控制波前编码器以在待测区一表面上产生顺序移动的光斑；阵列探测器记录并保存对应每个采样点的光斑的图像，将接收到的光线转换为电信号；控制模块对电信号进行相应的处理并获得待测物体表面的倾斜角度。本发明实现高精度小范围和低精度大范围两种模式之间的切换；可测量二维物体，适合在线检测安装在同步辐射光束线上的光学元件。 |
1、源头对接，价格透明
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4、专员跟进，交易保障