一种真空系统中散热件的密封散热装置

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专利名称 一种真空系统中散热件的密封散热装置 申请号 CN201610457964.8 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106028727A 公开(授权)日 2016.10.12 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 张罗莎;王魁波;吴晓斌;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇 主分类号 H05K5/06(2006.01)I IPC主分类号 H05K5/06(2006.01)I;H05K7/20(2006.01)I 专利有效期 一种真空系统中散热件的密封散热装置 至一种真空系统中散热件的密封散热装置 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种真空散热件的密封散热装置,用于真空环境中电子学系统的真空密封散热,该装置包括上法兰(1)、电子学系统(4)、下法兰(8),其中,上法兰(1)上开有第一密封槽(3),下法兰(8)上开有双密封槽结构,其包括第二密封槽(5)和第三密封槽(7),第二密封槽(5)和第三密封槽(7)之间开有抽气槽(6)。

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