二维光子准晶宽区半导体激光器结构

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专利名称 二维光子准晶宽区半导体激光器结构 申请号 CN201610563190.7 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106025797A 公开(授权)日 2016.10.12 申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 贾志伟;王利军;张锦川;刘峰奇;刘俊岐;王占国 主分类号 H01S5/223(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/223(2006.01)I 专利有效期 二维光子准晶宽区半导体激光器结构 至二维光子准晶宽区半导体激光器结构 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明公开了一种二维光子准晶宽区半导体激光器结构,包括:一衬底;一下波导;一下限制层;一有源区;一上限制层;一上波导;一接触层;一钝化层;一正面电极;一背面电极;一制作于上限制层的二维光子准晶阵列,从接触层到下波导刻蚀出条形宽区台面,钝化层包覆整个台面并在台面顶端开出电注入窗口,上电极在钝化层之上,在电注入窗口区域与接触层形成欧姆接触用于电注入,同时为有源区提供散热通道;背面电极与衬底形成欧姆接触,用于另一极电注入。

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