米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法

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专利名称 米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法 申请号 CN201610327006.9 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106007406A 公开(授权)日 2016.10.12 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 顿爱欢;曹俊;徐学科;邵建达;王哲 主分类号 C03C23/00(2006.01)I IPC主分类号 C03C23/00(2006.01)I;B24B29/02(2006.01)I 专利有效期 米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法 至米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面波前梯度修复及划痕钝化的加工方法,包括环形抛光、反射面离子束均匀去除、透射面离子束修复步骤。本发明有效地修复米级大口径磷酸盐激光钕玻璃光学表面的波前梯度、钝化光学表面的划痕,加工出全频段指标和表面划痕均满足高功率激光系统要求的米级大口径激光钕玻璃元件,尤其是波前梯度能够满足高功率激光系统的要求,同时表面划痕也满足高功率激光系统的要求。

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