| 专利名称 | 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法 | 申请号 | CN201610548151.X | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN105973809A | 公开（授权）日 | 2016.09.28 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 齐威;齐月静;苏佳妮;卢增雄;王魁波 | 主分类号 | G01N21/01(2006.01)I | IPC主分类号 | G01N21/01(2006.01)I | 专利有效期 | 一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法 至一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构和方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于哈特曼传感器测量的集成调节结构，采用上、中、下三层的结构，其上层结构为紧凑型二自由度平移调整台，中层结构为圆筒形调高与调平结构，下层结构为支撑、密封和固定结构。其中，上层结构可以调节水平向X、Y位置，中间层通过与传感器安装座的调节螺钉可以调节θx、θy两个旋转自由度以及竖向Z的位置，最下层结构用于安装哈特曼传感器或CCD传感器。该集成调节结构为一个紧凑的模块，可以实现X、Y、θx、θy、Z五个自由度的调节，而且操作简洁，便于拆卸、安装、移动。 |
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