| 专利名称 | 热丝夹具与热丝沉积设备 | 申请号 | CN201820909937.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208440695U | 公开（授权）日 | 2019.01.29 | 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 唐永炳;陈波;王陶;杨扬 | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/27(2006.01)I | 专利有效期 | 热丝夹具与热丝沉积设备 至热丝夹具与热丝沉积设备 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供了一种热丝夹具与热丝沉积设备，涉及热丝气相沉积技术领域，该热丝夹具，包括夹具支架，所述夹具支架上设有两基本平行设置的热丝承载棒，所述热丝承载棒表面罩设有保护罩，所述保护罩上设有用于使热丝穿设后与所述热丝承载棒接触的开孔，以缓解现有热丝夹具在沉积过程中易于在热丝承载棒上沉积金刚石薄膜导致沉积过程温度场分布不均，沉积工艺过程稳定性差，产品质量不稳定的技术问题，达到了提高温度场均匀性和提高产品质量稳定性的技术效果。 |
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