电场传感器封装组件

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专利名称 电场传感器封装组件 申请号 CN201821017705.4 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208443926U 公开(授权)日 2019.01.29 申请(专利权)人 中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司 发明(设计)人 夏善红;闻小龙;彭春荣;杨鹏飞;刘宇涛 主分类号 G01R29/12(2006.01)I IPC主分类号 G01R29/12(2006.01)I;G01R3/00(2006.01)I 专利有效期 电场传感器封装组件 至电场传感器封装组件 法律状态 说明书摘要 本实用新型提供一种电场传感器封装组件,其包括:电场敏感芯片,用于测量电场强度;基板,电场敏感芯片设置在基板的上表面上;连接部件,该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片;封帽,该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构,电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内;以及增敏电极,该增敏电极设置在封帽的上表面上。

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