专利名称 | 电场传感器封装组件 | 申请号 | CN201821017705.4 | 专利类型 | 实用新型 | 公开(公告)号 | CN208443926U | 公开(授权)日 | 2019.01.29 | 申请(专利权)人 | 中国科学院电子学研究所;北京中科飞龙传感技术有限责任公司 | 发明(设计)人 | 夏善红;闻小龙;彭春荣;杨鹏飞;刘宇涛 | 主分类号 | G01R29/12(2006.01)I | IPC主分类号 | G01R29/12(2006.01)I;G01R3/00(2006.01)I | 专利有效期 | 电场传感器封装组件 至电场传感器封装组件 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型提供一种电场传感器封装组件,其包括:电场敏感芯片,用于测量电场强度;基板,电场敏感芯片设置在基板的上表面上;连接部件,该连接部件用于连接基板和电场敏感芯片;封帽,该封帽与基板的上表面连接形成腔体结构,电场敏感芯片和连接部件设置在腔体结构内;以及增敏电极,该增敏电极设置在封帽的上表面上。 |
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