一种激光辅助加热生长晶体的装置

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专利名称 一种激光辅助加热生长晶体的装置 申请号 CN201820772839.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208395312U 公开(授权)日 2019.01.18 申请(专利权)人 中国科学院金属研究所 发明(设计)人 线全刚;金浩;张重远 主分类号 C30B13/22(2006.01)I IPC主分类号 C30B13/22(2006.01)I 专利有效期 一种激光辅助加热生长晶体的装置 至一种激光辅助加热生长晶体的装置 法律状态 说明书摘要 本实用新型提供了一种激光辅助加热生长晶体的装置,包括激光心部加热装置、氙灯表面加热装置、底座和真空腔体,其中:激光心部加热装置:激光聚焦镜头安装于镜头支架上,并通过光纤与激光器相连,上支撑杆固定于镜头支架下,上支撑杆与激光聚焦镜头之间设有透镜;送料棒悬挂于上支撑杆下端;籽晶棒位于送料棒的下方,并固定在下支撑杆上,送料棒与籽晶棒之间形成悬浮熔区;氙灯表面加热装置:氙灯固定装置位于镜头支架和底座之间,氙灯设置在椭球反光镜凹面一侧;真空腔体:上真空腔体、石英管和下真空腔体之间形成一个真空腔体。本实用新型通过结构和功能设计解决了大尺寸试棒晶体的生长难题,使其可生长直径达30mm的晶体,以利于实现工程化应用。

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