| 专利名称 | 高压放电激光触发开关 | 申请号 | CN201610471352.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106130532A | 公开（授权）日 | 2016.11.16 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 刘佳琦;李文涛;秦志勇;王文涛;王成;刘建胜;李儒新;徐至展 | 主分类号 | H03K17/94(2006.01)I | IPC主分类号 | H03K17/94(2006.01)I | 专利有效期 | 高压放电激光触发开关 至高压放电激光触发开关 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 一种高压放电激光触发开关，构成包括：绝缘底座、高压电极法兰、高压电极头、低压电极头、低压电极法兰、透镜支撑法兰、透镜压圈和透镜。本发明触发开关可以连续地调节触发开关的自触发电压，使之与工作电压更加接近，更易触发放电；聚焦位置可以精确调节，产生的等离子体能量稳定。本发明可将触发与放电起始的延时缩短在130纳秒以内、延时抖动在5纳秒以内，实现了高精度、高稳定性的高压放电触发，可用于高精度控制的高压放电系统。 |
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