一种显微镜焦点偏移测量设备

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专利名称 一种显微镜焦点偏移测量设备 申请号 CN201721428876.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208313565U 公开(授权)日 2019.01.01 申请(专利权)人 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 发明(设计)人 李辉;简俊明;文刚;金鑫;朱雨;赵星羽;朱茜 主分类号 G01M11/04(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/04(2006.01)I 专利有效期 一种显微镜焦点偏移测量设备 至一种显微镜焦点偏移测量设备 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种显微镜焦点偏移测量设备。包括激光器,发射光束;空间滤波模块,由两块中心轴重合布置的透镜以及位于两块透镜之间的一针孔构成,对光束进行滤波处理;可调小孔,调整视场光阑;缩束模块,缩小光束的直径;分束镜,分成透射与反射两束光;图像传感器,获取光斑在图像传感器上的位移。光束由激光器发出,依次经过空间滤波模块、可调小孔、缩束模块、分束镜和显微镜的物镜,经物镜汇聚后经过盖玻片的上下表面的反射行成两条光束,两条光束依次经过物镜、分束镜的透射成像在图像传感器上。图像传感器采用线阵CCD。采用此实用新型排除盖玻片下表面反射光斑的干扰,提高光斑定位的精度,提高设备稳定性和响应速度。

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