| 专利名称 | 一种维持动态压力的电负性气体喷射装置 | 申请号 | CN201820735889.1 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208172617U | 公开（授权）日 | 2018.11.30 | 申请（专利权）人 | 中国科学技术大学 | 发明（设计）人 | 刘宇;雷久侯;曹金祥;余鹏程;李敏迟 | 主分类号 | G05D16/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D16/20(2006.01)I;H05H1/26(2006.01)I | 专利有效期 | 一种维持动态压力的电负性气体喷射装置 至一种维持动态压力的电负性气体喷射装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种维持动态压力的电负性气体喷射装置，包括气压维持仓，气压维持仓内设有活塞，活塞与螺杆传动装置连接，螺杆传动装置与步进电机连接，气压维持仓设有注气口、出气口和气压表，注气口和出气口分别设有电磁阀控制。气压维持仓设有活塞位置检测装置。气压表、电磁阀控制、步进电机的控制单元和活塞位置检测装置分别与控制系统连接。出气口与产生等离子体的真空室相连，注气口与电负性气体气瓶相连，能够动态维持气压，维持电负性气体释放速度稳定，从而保证物理实验结果的精确性。解决了电负性气体释放中气压不断下降的问题。 |
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