一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片

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专利名称 一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片 申请号 CN201820554790.1 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208270902U 公开(授权)日 2018.12.21 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 张文富;章羚璇;孙笑晨;王国玺 主分类号 G02F1/295(2006.01)I IPC主分类号 G02F1/295(2006.01)I;H01S5/40(2006.01)I;G02F1/21(2006.01)I;G02F1/01(2006.01)I;G02B6/293(2006.01)I;G02B6/26(2006.01)I;G02B6/12(2006.01)I;G01S7/48(2006.01)I 专利有效期 一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片 至一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片 法律状态 说明书摘要 本实用新型涉及一种基于串联式光学天线的光学相控阵芯片,解决现有光学相控阵芯片的天线单元之间距离远大于波长,产生明显的旁瓣,严重影响器件光学性能的问题。该光学相控阵芯片包括基底和导光层;导光层包括依次设置的上端覆盖层、芯层和下端覆盖层;下端覆盖层设置在基底的上端,芯层的折射率高于上端覆盖层、下端覆盖层和基底的折射率;芯层包括多个天线单元,多个天线单元首尾相连,形成多个竖向阵列,多个竖向阵列横向连接为二维阵列;天线单元包括光栅天线、相位调制器和第一连接波导;相位调制器主要由直波导和两个弯曲波导组成,两个弯曲波导通过直波导连接;光栅天线与相位调制器的弯曲波导通过第一连接波导连接。

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