| 专利名称 | 一种水冷籽晶杆 | 申请号 | CN201820719741.9 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208235031U | 公开（授权）日 | 2018.12.14 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 发明（设计）人 | 唐飞;苏良碧;钱小波;吴庆辉;姜大朋;王静雅 | 主分类号 | C30B11/14(2006.01)I | IPC主分类号 | C30B11/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种水冷籽晶杆 至一种水冷籽晶杆 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及一种水冷籽晶杆，所要解决的技术问题在于提供一种能够增大籽晶下端散热的水冷籽晶杆。所述水冷籽晶杆包括：下封块（1）、上支撑块（6）、连接于所述下封块（1）与上支撑块（6）之间的中空的支撑环（2）、以及位于所述支撑环（2）内的实心柱（3）；所述下封块（1）、支撑环（2）、实心柱（3）与上支撑块（6）之间的空腔形成为流通有冷却水的冷却内腔。 |
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