| 专利名称 | 一种光学表面间距非接触式测量装置 | 申请号 | CN201820699941.2 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208155267U | 公开（授权）日 | 2018.11.27 | 申请（专利权）人 | 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 | 发明（设计）人 | 史国华;潘道伟;邢利娜;樊金宇;汪权;刘敬璇 | 主分类号 | G01B11/14(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B11/14(2006.01)I | 专利有效期 | 一种光学表面间距非接触式测量装置 至一种光学表面间距非接触式测量装置 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型属于光学测量技术领域，具体涉及一种光学表面间距非接触式测量装置，本实用新型通过扫频光学相干层析(SSOCT)原理进行光学间隔非接触式测量，单次测量深度可达数十毫米，对于大部分的光学系统可以一次探测完成多个光学表面同时测量，配合参考臂移动进行分段式测量实现大量程，且测量精度完全取决于系统轴向分辨率；本实用新型还进一步优化了测量光路，在可调焦测量臂增加调焦模组，根据样品参数选择合适的聚焦光路，可以更好的收集各光学表面的反射光信号，提高干涉信号强度；在可位移参考臂中增加消色差透镜，可调焦测量臂的调焦模组和可位移参考臂的透镜组都是消色差透镜，有利于进一步提高测量精度。 |
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