| 专利名称 | 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 | 申请号 | CN201820500481.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208224516U | 公开（授权）日 | 2018.12.11 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 发明（设计）人 | 姚鹏飞;李淘;李雪;邵秀梅;龚海梅 | 主分类号 | G02B5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B5/00(2006.01)I;G02B6/122(2006.01)I | 专利有效期 | 单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 至单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本专利公开了一种单片集成在光电探测器上的金属纳米光天线，从上至下依次是低折射率覆盖层，金属纳米球体阵列和探测器衬底。所述低折射率覆盖层的折射率在1.3至2.3之间，金属纳米球体直径300?500纳米，周期700?900纳米。金属纳米天线结构通过光散射与表面局域场增强效应，可以提升探测器的光吸收性能，增强探测器对入射光的响应，改善量子效率，并且制备工艺简单，制备成本低。 |
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