一种自动探针测试装置及系统

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专利名称 一种自动探针测试装置及系统 申请号 CN201820721187.8 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208207070U 公开(授权)日 2018.12.07 申请(专利权)人 中国科学院合肥物质科学研究院 发明(设计)人 范一松;郭强;苏锐 主分类号 G01R27/02(2006.01)I IPC主分类号 G01R27/02(2006.01)I 专利有效期 一种自动探针测试装置及系统 至一种自动探针测试装置及系统 法律状态 说明书摘要 本实用新型公开了一种自动探针测试装置,包括:侧板、底板、探头支架和移动机构,所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连,且所述底板用于放置待测器件,所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连,所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接;所述探头支架上设置有多组四针探头,每一组四针探头上至少包括一个四针探头,且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。另外,本实用新型还提供了一种基于该装置的自动探针测试装系统。利用本实用新型实施例,提高待测器件的测试效率,以及减少测试过程中进行人为的手动移动待测器件,减少器件的损坏几率。

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