一种高精度质谱检出限的检测装置

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专利名称 一种高精度质谱检出限的检测装置 申请号 CN201820946643.9 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208208713U 公开(授权)日 2018.12.07 申请(专利权)人 中国科学院光电研究院 发明(设计)人 罗艳;吴晓斌;王魁波;谢婉露;张罗莎;张立佳 主分类号 H01J49/02(2006.01)I IPC主分类号 H01J49/02(2006.01)I;H01J49/42(2006.01)I 专利有效期 一种高精度质谱检出限的检测装置 至一种高精度质谱检出限的检测装置 法律状态 说明书摘要 一种高精度质谱检出限的检测装置,所述检测装置包括待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀。通过所述金属毛细管对空气进行采集,逐级减压地,并通过金属细管将采样空气直接运送到高精度质谱仪的离子源中,从而避免了真空腔室本底、高精度质谱仪真空本底、灯丝反应物和碎片分子反应物的干扰,高精度质谱仪直接分析空气中低浓度稀有气体的同位素谱图,从而保证了其检出限检测的精确度。相比已有的技术成果,本实用新型的一种高精度质谱检出限的检测装置简单可靠,通过一次有效的测试,即可直观可比地获得检出限的数量级;通过简单地计算,即可精确可靠地获得四极质谱仪的最小可检浓度和最小可检分压。

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