| 专利名称 | 微型真空计 | 申请号 | CN201820515143.X | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208206381U | 公开（授权）日 | 2018.12.07 | 申请（专利权）人 | 昆山光微电子有限公司;中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 魏德波;候影;刘瑞文;傅剑宇;吕文龙;王玮冰;陈大鹏 | 主分类号 | G01L21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L21/00(2006.01)I | 专利有效期 | 微型真空计 至微型真空计 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种微型真空计，包括底座、框架、绝缘基底、二极管、电阻、悬臂梁和电学连线，框架固定在底座四周，悬臂梁至少为两个，悬臂梁的一端与绝缘基底固定连接，悬臂梁的另一端固定于框架的上侧面上，至少两个悬臂梁将绝缘基底悬空固定于框架上；二极管和电阻设于绝缘基底上，电学连线将电阻和二极管电性连接并从悬臂梁上引出。本实用新型通过配置二极管数量、二极管的串并联方式、串联电阻大小、绝缘基底与底座之间的间隙实现对不同真空度的精确检测，具有配置灵活、灵敏度高、量程大的优点。此外，该真空计还具有结构及制作方法简单、与CMOS工艺兼容、加工误差容限大、成本低等优点。 |
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障