荷电离子束流强度测量系统

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专利名称 荷电离子束流强度测量系统 申请号 CN201820714394.0 专利类型 实用新型 公开(公告)号 CN208188352U 公开(授权)日 2018.12.04 申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 姚存峰 主分类号 G01T1/29(2006.01)I IPC主分类号 G01T1/29(2006.01)I 专利有效期 荷电离子束流强度测量系统 至荷电离子束流强度测量系统 法律状态 说明书摘要 本公开提供了一种荷电离子束流强度测量系统,该测量系统包括离子束传输真空管道、电磁扫描设备、离子束斑探测器、半拦截式束流探测器、拦截式束流探测器和辐照材料;电磁扫描设备,设置在所述离子束传输真空管道前端的外部;离子束斑探测器、半拦截式束流探测器、拦截式束流探测器和辐照材料顺次设置在离子束传输真空管道内,其中辐照材料设置在离子束传输真空管道的后端。本公开突破了传统铝箔三明治测束技术中存在的测量精度差,易烧蚀损坏等问题,同时也克服了样品与法拉第筒一体式设计中操作不便利、导电样品限制等不足,采用一种半拦截式的测束技术,更加适合在强流、长时间、不同辐照材料实验中使用。

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