| 专利名称 | 液滴靶生成装置及其温度控制系统 | 申请号 | CN201820565865.6 | 专利类型 | 实用新型 | 公开（公告）号 | CN208077022U | 公开（授权）日 | 2018.11.09 | 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院;中国石油大学（北京） | 发明（设计）人 | 张立佳;张理垟;郭馨;王岩庆;范元媛;李慧;吴晓斌;齐月静;周翊 | 主分类号 | G05D23/19(2006.01)I | IPC主分类号 | G05D23/19(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 专利有效期 | 液滴靶生成装置及其温度控制系统 至液滴靶生成装置及其温度控制系统 | 法律状态 | 说明书摘要 | 本实用新型涉及温度控制系统技术领域，具体涉及一种液滴靶生成装置及其温度控制系统。本实用新型旨在解决液滴靶生成装置温度稳定差的技术问题。为此目的，本实用新型提供的一种温度控制系统包括依次连接的压缩机、冷凝器、节流装置和蒸发器，蒸发器设置于换热室内，用于对换热室内的流体降温，温度控制系统还包括流通管，流通管的第一端与换热室连通，流通管的第二端与用于冷却液滴靶生成装置的冷却装置连通，其中，流通管上设置有与控制器连接的流量调节阀，控制器通过流量调节流入冷却装置的流体流量。本实用新型通过控制器和流量调节阀调节流入冷却装置的流体流量，通过不同的流体流量调节液滴靶生成装置的温度。 |
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