| 专利名称 | 一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构 | 申请号 | CN201710860959.6 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN107764069A | 公开（授权）日 | 2018.03.06 | 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 张舸;董斌超;张学军;崔聪聪;曹琪;包建勋 | 主分类号 | F27D5/00(2006.01)I | IPC主分类号 | F27D5/00(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/573(2006.01)I | 专利有效期 | 一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构 至一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明涉及一种大尺寸反应烧结碳化硅烧结过程的支撑结构，属于反应烧结碳化硅制备技术领域。本发明所述支撑结构由上石墨板、下石墨板和位于两石墨板中间的陶瓷球构成，主要是通过置于石墨板沉台内的陶瓷球实现滚动支撑；陶瓷球的滚动可以实现支撑区域位置的变化，而且支撑区域位置变化时只受陶瓷球的滚动摩擦力，由于陶瓷球的滚动摩擦力很小，坯体的热胀冷缩过程几乎不受支撑区域的约束限制，可以实现坯体的自由膨胀与收缩，大大减小烧结过程中坯体的应力，提高制备过程中的成品率。 |
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