扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法

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专利名称 扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法 申请号 CN201710325624.4 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN107328477A 公开(授权)日 2017.11.07 申请(专利权)人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明(设计)人 王卫峰;陆卫国;肖茂森;徐峰;王海霞;蔡勇;王致强;刘爱敏 主分类号 G01J4/00(2006.01)I IPC主分类号 G01J4/00(2006.01)I 专利有效期 扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法 至扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 本发明属于精密测试计量技术领域,具体涉及一种扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法。该检测系统包括检测装置、经纬仪和基准平面镜;经纬仪用于准直检测装置和基准平面镜;检测装置包括固定机构、旋转机构、检测机构和调平机构;检测机构通过旋转机构安装于固定机构上,固定机构通过调平机构安装于一个分度台上;检测机构包括检测直角棱镜和光电接收组件;检测直角棱镜用于引出被检测偏振光光轴方位,光电接收组件用于检测偏振光方位并将光信号转换为电信号。采用本发明提供的扩束线偏振光光轴一致性、稳定性检测系统及方法可以对经过扩束后线偏振光光轴的一致性和稳定性进行准确量度,提高了线偏振光技术的测量精度。

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