| 专利名称 | 基于混合集成的片上光源结构及其制备方法 | 申请号 | CN201710131860.2 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106980160A | 公开（授权）日 | 2017.07.25 | 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 刘丰满;曹立强 | 主分类号 | G02B6/42(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B6/42(2006.01)I | 专利有效期 | 基于混合集成的片上光源结构及其制备方法 至基于混合集成的片上光源结构及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种基于混合集成的片上光源结构，包括载板、载板互连线、激光器、准直透镜、光隔离器和密闭盖板，其中，激光器通过所述载板互连线获得供电并连接到载板；激光器发射的光依次通过准直透镜、光隔离器、密闭盖板下部，以最佳入射角入射位于光子芯片表面下方的光栅；光隔离器出射的光线与光子芯片表面垂直，且所述光栅所在位置的截面与光子芯片表面垂直。本发明还提供一种制备基于混合集成的片上光源结构的制备方法。本发明能够实现片上光源集成，集成度高、损耗小、安装简单便捷，还可以通过光学密闭盖板灵活调整光路。 |
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