专利名称 | 一种双波段冷镜的制作方法及装置 | 申请号 | CN201710356160.3 | 专利类型 | 发明专利 | 公开(公告)号 | CN106980146A | 公开(授权)日 | 2017.07.25 | 申请(专利权)人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明(设计)人 | 王孝东;陈波;王海峰;郑鑫 | 主分类号 | G02B1/115(2015.01)I | IPC主分类号 | G02B1/115(2015.01)I | 专利有效期 | 一种双波段冷镜的制作方法及装置 至一种双波段冷镜的制作方法及装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种双波段冷镜的制作方法及装置,所述方法克服了远紫外波段材料色散现象严重和材料吸收不可忽略等设计难点,采用的非对称高斯包络剪裁膜厚调制方法有创新性,在计算机光学薄膜软件优化过程中,用高斯型曲线来表示121.6nm反射带的目标曲线,有助于具有带宽4nm的反射带的获得,该方法简单,容易操作,能够得到较好的设计结果。 |
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