光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法

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专利名称 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法 申请号 CN201710029641.3 专利类型 发明专利 公开(公告)号 CN106813901A 公开(授权)日 2017.06.09 申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 钟朝阳;刘源;周翠芸;马秀华;孟俊清;侯霞;陈卫标 主分类号 G01M11/02(2006.01)I IPC主分类号 G01M11/02(2006.01)I 专利有效期 光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法 至光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法 法律状态 实质审查的生效 说明书摘要 一种光学器件相位延迟量的测量装置及其测量方法,装置主要包括双频He?Ne激光器、偏振分光镜、半波片、45°高反镜、偏振片、光电探测器。采用外差探测技术,线偏振光经过待测光学器件的快轴慢轴后分别与参考频率光拍频,使用光电探测器接收拍频信号,比较拍频信号的相位差,从而实现相位器件相位延迟量的精确测量。本发明可以测量光学器件任意波段的相位延迟量,具有结构简单紧凑,使用方便,抗环境干扰能力强,易于集成、相位延迟量测量精确的特点。

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