| 专利名称 | 一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法 | 申请号 | CN201710031365.4 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106698331A | 公开（授权）日 | 2017.05.24 | 申请（专利权）人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明（设计）人 | 倪藻;李昕欣;李伟 | 主分类号 | B81C1/00(2006.01)I | IPC主分类号 | B81C1/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;G01J5/12(2006.01)I;H01L35/00(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I | 专利有效期 | 一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法 至一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供一种包含梁膜结构的单晶硅红外热堆结构及其制作方法，所述热堆结构主要包括红外吸收膜、多根单晶硅梁、以及形成于所述单晶硅梁上方的热电材料层等，单晶硅梁和热电材料层形成热偶对。其中，红外吸收膜悬浮于结构中央，热偶对环绕在红外吸收膜四周，热偶对一端与红外吸收膜相连、另一端与支撑膜相连，并通过支撑膜连接到衬底。本发明热堆结构采用单晶硅作为热偶材料，单晶硅具有塞贝克系数高、电阻率低的优点，可实现较高的灵敏度；另外，本发明利用单晶硅梁支撑悬浮的红外吸收膜，既满足了热堆的绝热性要求，同时也具有较高的结构强度；再者，本发明的热堆结构采用单硅片单面加工的方法制作而成，尺寸小，成本低，适合大批量生产。 |
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