| 专利名称 | 柔性压力传感器及其制备方法 | 申请号 | CN201611144675.9 | 专利类型 | 发明专利 | 公开（公告）号 | CN106644189A | 公开（授权）日 | 2017.05.10 | 申请（专利权）人 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 孙蓉;张愿;胡友根;朱朋莉 | 主分类号 | G01L1/18(2006.01)I | IPC主分类号 | G01L1/18(2006.01)I | 专利有效期 | 柔性压力传感器及其制备方法 至柔性压力传感器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 | 说明书摘要 | 本发明提供了一种柔性压力传感器，包括两层柔性导电复合薄膜，两层所述柔性导电复合薄膜层叠结合，且一所述柔性导电复合薄膜朝向另一所述柔性导电复合薄膜的表面形成有呈周期性排列的单层微半球阵列。 |
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